二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #139117 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200是一种晶圆测试和计量设备，提供一套全面的计量和检验能力，包括光学计量和表面计量。该系统结合了集成的光电成像单元、先进的软件和硬件架构，提供自动化、高通量的检测和计量测量。此外,该机器还具有软件驱动的环境,可简化操作、最大化数据吞吐量以及用户友好地访问数据、资源和功能。该仪器设计用于缺陷检测、特征大小、薄膜应力、临界尺寸测量、边缘检查和晶圆评分等应用。KLA SM 200提供both2D和3Dmetrology功能,旨在满足众多晶圆制造和晶圆测试过程的需求。该仪器利用先进的成像和光学技术提高了精度、可靠性和吞吐量。集成的LED光源和偏振分束器为优化缺陷检测提供了最佳照明。此外,该工具还提供了Flex-LW,这是一种扫描激光对准工具,可与TENCOR SM 200配合使用,提供实时晶圆对准和调整的自动化方法。SM 200提供了一套广泛的工具和参数来定制测试程序和计量分析。集成的基于规则的脚本语言可帮助实现资产操作的自动化,从而轻松定制测试以满足特定的流程要求。专用的用户界面结构提供对自定义测试所需的所有参数和设置的访问。PROMETRIX SM 200还提供了强大的工具和分析引擎,能够对计量数据进行分析和解释。该模型的图像分析功能包括统计过程控制、自动对焦算法以及用于自动特征大小、缺陷识别和高分辨率成像的图像处理算法。该仪器非常适合半导体行业的广泛应用，包括产量提高、工艺改进和缺陷分析。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200与行业标准软件高度兼容,使其易于与其他数据可视化、分析和报告软件程序集成。该仪器还可用作综合质量保证（QA）过程的一部分，或用作测试和测量应用的独立设备。