二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #189550 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200设备是KLA公司开发的一种非常可靠、高精度、自动化的晶圆测试和计量系统。其优越的分析能力源于其独特的平台：TENCOR自主映射单元（KAMS）。这台机器使用KAMS的专有视觉算法和三维配准，以远远超出传统错位扫描系统所能达到的精度和精确度来测量晶圆模式。KLA SM 200工具有三个主要组件，使其能够如此精确可靠：图像传感器、探测器和KAMS软件。图像传感器是一种三通道CCD数字彩色相机，能够捕捉晶圆图样的高分辨率图像，这些图像被数字化并存储在机器的内存中。该探测器采用KAMS开发的算法，是一种集成的分割波长测光资产，使用各种传感器测量晶圆图样的大小和形状，并检测任何缺陷和不符合要求的情况。最后，KAMS软件是模型的大脑，提供了强大的分析能力和快速详细分析模式的能力。TENCOR SM 200是高容量生产先进半导体晶片的理想选择。利用先进的分析能力，可以同时精确测量和检查多个基板，提供一致的结果和可重复性。它还具有减少操作员干预时间的功能，如自动和半自动宏和无需手动输入即可重复复杂测量周期的能力。SM 200为用户提供屏幕上的数据演示工具、错误警告以及对PROMETRIX广泛的服务和支持包的访问。一个值得注意的功能是它的模块化计量套件，它允许用户根据自己的特定需求定制设备。例如，用户可以添加各种高级分析工具，例如Spectroscopic Mapping Package，它执行光度和分光光度测量来检测晶圆缺陷。总体而言,PROMETRIX SM 200系统是一个精心设计的解决方桉,使制造商能够在生产高质量晶片的过程中获得保证和信心。它具有无与伦比的精确度和精确度,易于使用,非常适合大批量生产过程。