二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9105330 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是一种晶圆测试和计量设备，执行表面分析、缺陷检测、计量和缺陷表征等一系列功能。该系统包括一个扫描仪、一个确定性晶圆处理单元以及各种定制要求的选项。KLA SM 300将先进技术用于其广泛的任务。它配备了具有500万像素分辨率的先进感应数字显微镜。这使机器可以执行各种操作，如胶片结构成像、表面拓扑和缺陷形态。该显微镜还用于测量薄膜厚度和评估微观结构。另外，TENCOR SM 300具有模式识别功能，分析晶片表面的表面缺陷和缺陷。该机器能够检测高通量的小缺陷，能够区分不同类型的缺陷。这有助于快速识别故障区域并改进质量控制。SM 300的确定性晶片处理工具分为"蚀刻探测阶段"和"高分辨率检测阶段"两个阶段。蚀刻探测阶段具有高分辨率的成像资产和楔形探针技术，允许对表面下的晶片进行成像。此外，高分辨率检查阶段包括一种非接触技术，用于对精细结构成像和测量晶圆轮廓。PROMETRIX SM 300能够提供详细的计量测量,例如长宽比测量、轮廓测量、关键尺寸和阵列度量。计量测量也用于优化通过/失败决策过程和提高产品质量。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300易于使用,并具有直观的用户界面,因此适合任何环境。它还包括精确和精确的校准工具，并提供自动化程序。专门的附件，如粒子计数器和专门的软件包，可作为增强性能的选项。KLA SM 300是一种高度先进的晶片测试和计量模型，提供了一整套用于晶片排序、缺陷扫描和计量的功能。该设备快速、可靠、准确，提供了一种简单的质量测试和评估晶片的方法。