二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9188572 待售

ID: 9188572
Film thickness mapping system Heads Manual included.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是专门为测量和测试晶圆质量而创建的设备。它具有高速度、高精度和大容量,适用于广泛和可变的应用程序。KLA SM 300被设计为一个完整的计量系统的一部分,它遵循制造过程,以确保组件的制造正确。它提供了几种功能,例如成像、缺陷识别和晶片的位置精度,这些功能在现代半导体生产中很重要。该单元由各种组件组成,这些组件协同工作以确保晶圆质量得到维护。TENCOR SM 300的光学子系统根据应用使用白色和红色激光束。这些激光器一起使用,用于快速准确地测量、检查和识别缺陷。对准机提供精确和精确的成像,而检查系统提供实时和深入的分析。PROMETRIX SM 300的测量子系统具有高速精确的线性测量能力,这意味着晶圆质量得以维持。测量系统提供晶圆形状、表面粗糙度和边缘特征的详细信息。缺陷检测子系统采用光学显微镜、声学显微镜、成像等方式,快速准确地检测晶圆缺陷。最后,SM 300中的计量软件处理来自测量、图像捕获和分析子系统的输入。然后,这些数据将用于分析、比较和评估晶片的生产率、准确性和性能。软件还允许报告和绘图功能,以提供晶圆性能指标。总体而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是衡量和测试晶片质量的可靠而高效的工具。它提供高速、高精度和大容量,可用于各种应用程序。它的各种组件和软件确保晶圆质量得到维护,生产力和性能得到跟踪。
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