二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #293587919 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300是一种完全集成的晶圆测试和计量设备,旨在快速测量半导体器件晶圆的各种电气、光学、物理和化学特性。KLA SpectraMap SM 300是用于生产环境的强大工具,在测量、灵活性、精密自动化和低运营成本方面提供了高度的精确度和精确度。该系统使用基于硅光子学的传感器在各种材料上收集数据，从而能够有效地测量薄膜光学、电气、化学和物理特性。该单元还能够对片状电阻、电流密度、泄漏电流、介电击穿、表面钝化等电气特性进行2D和3D映射。TENCOR SpectraMap SM 300即使在信噪比较低的情况下也能侦测到非常小的特徵，允许改进缺陷检查和表征。PROMETRIX SpectraMap SM 300可在多种材料中提供优异的性能,包括硅、氮化氙、砷、硅的材料以及许多其他类型的材料。该机可测量电压、电流、I-V特性、电荷、掺杂、掺杂浓度、介电击穿和暗饱和电流等电气特性。它还可以测量厚度、折射率、带隙、吸收长度和表面粗糙度、表面清洁度和粘附强度等力学性能。为确保测量的准确性,该工具具有许多高级功能。其中包括一个直接聚焦图像传感器（DFIS）耦合单元，允许在非晶态和结晶材料上实现纳米级分辨率。该资产还包括用于自动特征识别和结果分析的Advanced Semiconductor Metrology （ASM）软件、用于轻松检索数据的数据管理模型以及用于降低电气可变性的低漂移电压源。最后，设备有广泛的配件和探头，以及车载电脑控制，确保每次都有最佳性能。总体而言，SpectraMap SM 300是一种先进的晶片测试和计量系统，旨在快速准确地测量半导体器件晶片的各种电气、光学、物理和化学特性。它的智能工程和复杂的自动化使其成为生产环境的理想选择,允许快速、可靠的数据收集和全面的分析。