二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #9204663 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300是一种晶圆测试和计量设备。它提供了具有亚纳米分辨率的晶圆表面测量的精确实时信息。其设计为晶圆故障检测和内联屈服管理提供了先进的计量能力和改进的测量性能。该系统能够检查从常规工艺步骤到最先进的3D反向光刻技术的所有内容。它旨在优化复杂晶片模式的各种工艺步骤。可变采集速度、自动聚焦映射和自动调谐匹配等功能可优化平面化或非平面化晶圆拓扑的曲面和地形测量。KLA SpectraMap SM 300利用专有的设计和算法实现了台面自动检测、角检测以及其他形式的晶圆故障分析和表征。该单元还支持多种检查模式，包括步进重复、区域扫描、自动和手动。机器提供了全方位的计量测试功能，允许用户快速分析晶圆表面。利用其高速光学处理，该工具提供了高度、厚度、表面地形和晶圆材料特性的快速而精确的映射。它能够快速检测、定位和分类外部结构,例如晶圆顶部和底部表面的不规则性。资产的自动化SR3D （Structure Real-time 3D）检查模式可以比传统方法更快地检测各种类型的缺陷和特性。该模型还能够提供实时缺陷审查、自动归档结果和图像以及化学和物理分析。TENCOR SPECTRAMAP SM300是一款高可靠性、高性价比、性能优异的设备。它的多才多艺的设计允许结合一系列额外的特性，如电子束检查和纳米焦点成像。该系统具有先进的特点和计量能力，提供了完善的实时晶圆检测和计量解决方桉。