二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293594487 待售

ID: 293594487
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在优化半导体晶圆的检验和计量。KLA UV 1050系统结合了激光和光谱等其他技术,使精密计量成为可能。它旨在帮助降低拥有成本和优化生命周期成本。该单元可用于晶圆检测、计量、采样、性能监测。TENCOR UV-1050机采用激光干涉仪,提供高分辨率的表面平面度测量。结合了多波长光谱仪,得到高精度的光学反射率、表面取向和表面粗糙度测量。它可用于测量地形样品和晶片上的局部反射强度。还包括偏振门控成像工具,可同时测量表面反射率和表面方向。资产还使用自动化来提供高吞吐量和可重复性。它还配备了先进的图像分析软件,可以精确测量晶圆上的平面和非平面地形。这是通过具有最小化照明效果和改进的噪声抑制的波形图像来完成的。PROMETRIX UV-1050模型具有先进的计量和检查能力,包括在线计量和故障分析。它可以提供有关晶片的关键属性(如形状、反射率、表面粗糙度、缺陷拓扑和曲面方向)的详细信息。此外,设备可以在整个平板电脑表面上进行多次测量,或者快速或使用逐步扫描,以提高准确性。KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050系统还提供高级缺陷隔离、分类和分析。这可以包括静态和动态故障分析、空间解析缺陷检测以及与材料无关的故障检测。这些特性使PROMETRIX UV 1050成为快速准确晶圆测试和计量的理想设备。
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