二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293600853 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备，专为需要光刻和晶圆测试过程的质量控制和过程监控的半导体制造商而设计。它在单个平台中结合了自动化计量、缺陷审查和产量分析功能,为流程开发和质量控制应用提供了全面的解决方桉。KLA UV 1050采用激光技术和获得专利的激光自动对焦系统,以优异的精度和部分到部分的可重复性测量临界尺寸。它采用分光光度法进行精确的颜色测量，能够检测到微小的反射率差异。此外,该单元还能够以高精度测量特征到小几何形状和大间隙。TENCOR UV-1050还具有增强的用户界面,可提供易于使用的数据录入机和直观的图形用户界面（GUI）,方便快速运行。此工具减少了测量时间,并消除了与手动数据输入相关的错误。此外,资产还具有强大的缺陷审查功能,使操作员能够生成详细的缺陷报告并快速识别晶圆的变化。PROMETRIX UV 1050是传统昂贵的单波长系统的经济高效替代品，提供了扩展的性能和简化的维护。此外，它可以与外部系统集成，实现自动对准和焦点控制，加上长期的过程监测和分析。它配备了先进的特征提取算法，能够实时分析图案和特殊形状。除了晶圆测试和计量功能外，该模型还设计用于方便迭加，并提供电子束检测能力。它提供了复杂的现场分析,用于识别和诊断与迭加性能相关的过程变化。此功能有助于确保器件-基板相互作用的质量和半导体器件的整体精度。所有这些功能，结合UV 1050的高速扫描功能，使需要高端性能的应用能够快速、准确、经济高效地完成。它们使KLA UV-1050任何寻求可靠和精确晶圆测试和计量解决方桉的人的理想选择。