二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293683730 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备，提供准确、高分辨率的成像、快速的测试后分析和关键特征检测。该系统旨在处理具有挑战性的应用程序,如缺陷定位、迭加对齐以及在各种极端过程中的过程监控。通过利用其高速激光、晶圆单选和完全成像自动化,它提供了极快的吞吐量,以提供快速反馈。KLA UV 1050有一个最先进的光学单元，包括一个光导，允许整个晶圆场甚至照明条件和最新的高Q激光，确保最高性能。TENCOR UV-1050还具有先进的舞台机器和5 µm的小斑点尺寸,即使在紧密的模式下也能提供卓越的成像和计量精度。UV 1050还具有集成的电动z-slide,配备自动对焦深度和自动对角校正功能。Z-Slide可提供快速、精确的运动,可调节至20 µm,从而实现高分辨率晶片的对准和定位。此外，该工具采用了创新的Auto-Slide单数和晶圆映射技术，增加了吞吐量，减少了人为错误。UV-1050还拥有一系列先进的污染控制功能，如自动清洁和减轻微小颗粒和蒸汽富集，在成像过程中保护晶片，以便进行质量和有效的晶片监测。TENCOR UV 1050还包括高级软件套件，包括自动化缺陷分析、工具维护和数据记录、基于Web的综合报告资产以及作业跟踪模型。提供多种语言的定制报告和数字图表。总体而言,KLA UV-1050是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在满足过程控制、产量管理和具有挑战性的应用的关键特征检查的需要。其快速的吞吐量、可靠的图像采集、先进的污染控制以及全面的软件包，使其成为晶圆测试和计量的综合解决方桉。
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