二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293742996 待售

ID: 293742996
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种高性能晶圆测试和计量设备,为最复杂的设备结构提供可靠的结果。它具有优化的扫描速度、高度灵活的测试选项以及跨晶圆尺寸的一致性能。KLA UV 1050具有高性能的光学系统,工作空间分辨率为0.1 μ m。它提供全场成像,捕获颗粒污染、表面缺陷、应力相关特征和其他缺陷相关特征。这使用户能够以更高的精度和准确性监控计量和测试结果。扫描仪可处理5至12英寸大小的晶圆,最高可扫描1000 wph。该单元使用尖端软件来控制先进的数据采集机。此软件提供了一个高级、可靠的用户界面,可帮助用户快速访问和控制数据。内置的GUI提供各种预配置的配方以及配方保存功能。该软件还包括有助于检测缺陷的统计分析工具。TENCOR UV-1050包括高端图像校正选项,以实现准确的成像结果。它还提供自动晶圆对准、晶圆背景测量、缺陷过滤和多站点编程。该工具还包括一个存储扫描参数的库,允许用户快速准确地回忆这些参数以进行高效的重复测量。该资产设计用于彻底的缺陷检测和分析,使其成为质量保证、产量分析和器件表征的理想选择。它具有EuvigilantLite™网络、快速可靠的扫描仪和其他系统之间的链接。这有助于用户在扫描仪和MicroFab和Metrology Workstations等系统之间传输数据,以确保结果的准确性。KLA UV-1050是半导体器件应用的理想选择。它减少了前沿流程的上市时间,并帮助用户及时识别、分析和纠正缺陷。PROMETRIX UV 1050具有直观的软件、先进的扫描和成像功能以及准确的结果,是高级晶圆测试和计量的理想选择。
还没有评论