二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751193 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提供一套全面的测量和分析工具。该系统采用超快紫外线激光器和精密光学器件相结合,能够快速准确地测量直径达200毫米的薄片的厚度和拓扑结构。该单元使用150 kHz、纳米级的精密位移测量机(DMS)来获得整个晶圆表面的精确2轴映射。这使工具能够以极高的精度检测微小的表面缺陷,如划痕和污染物。此外,此技术允许在几个纳米分辨率级别内快速、高度精确地测量特征尺寸。KLA UV 1050还提供高分辨率的3-D地形和台阶高度测量,在直径最大为200 mm的晶片上进行了广泛的角度和进近角度测量。这样可以确保可以正确识别任何缺陷以确保晶片的最高质量。该资产是大型制造应用程序自动化过程的理想选择,它能够通过标准化的运动面板集成到工厂设备中。这确保了数据的准确和一致收集,以便批量生产。TENCOR UV-1050还提供了一系列测量工具选项,允许针对每种产品定制方法。这包括不同尺寸和类型的曝光头和计量托盘选项,这些选项可容纳各种晶圆尺寸和工艺。该模型在提供易于使用的界面的综合控制软件包上运行。该软件提供晶片边缘和边缘轮廓数据的图形化可视化,从而更容易查明特定缺陷并排除任何问题。安全方面,TENCOR UV 1050符合所有行业标准,包括但不限于现场总线安全、机器安全、防振要求。此外,该设备采用直观的机械操作和行业标准的安全标准进行设计,使其安全易用。总体而言,UV 1050是一个先进的晶圆测试和计量系统,为各种晶圆尺寸和工艺提供精确和准确的测量。设备操作简单,符合行业标准的安全标准,确保为所有生产需求提供一致、可靠的数据。
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