二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751596 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备,为半导体器件生产提供高精度、准确性和快速吞吐量。该系统采用深紫外线照明进行晶圆测试和计量,非常适合薄膜计量和粗糙度测量等应用。此单元旨在帮助制造商最大限度地提高质量,同时降低成本。KLA UV 1050利用基于各种紫外线(UV)光源的多波长计量技术,包括三波长氟化K(KrF)激光器和双波长ArF激光器。KrF激光器能够比传统的可见光计量法获得更高的精度。ArF激光器用于获取与薄膜厚度和均匀性有关的关键参数。这两种类型的激光器提供了广泛的控制和测试能力,以满足各种生产工艺的需求。TENCOR UV-1050还包括一台精密的软件机器,用于收集、控制和分析晶圆测试和计量过程中的数据。该软件可用于监控和调整晶圆加工参数,以保证最优质的产品。它包含几个组件,如图形用户界面(GUI)、数据收集、晶圆映射和缺陷分析,以及报告生成工具。UV 1050资产的硬件部件包括高分辨率相机、光学补偿器和样品室。相机捕获从晶片反射出来的光,用于测量诸如胶片厚度和均匀性等参数。光学补偿器调整光束的路径,以提高测量精度。此外,样品室创造了最适合测试和计量过程的环境。PROMETRIX UV-1050是一种功能强大的晶圆测试和计量模型,可以为半导体器件的生产提供卓越的结果。其强大的硬件和先进的软件可以实现高精度和快速的吞吐量,而激光保证精确和无错误的结果。UV-1050是半导体工业质量控制和质量保证的理想工具。
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