二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293811723 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的高精度尺寸分析。它是一个通用、高性能的系统,可提供快速、准确的测量结果和可重复的结果。该单元采用光学、干涉和电动扫描技术的组合来分析晶圆特征。具体来说，它利用近红外激光光源进行衍射测量，干涉测量来测量微小的特征，以及对较大的特征采用电动扫描台。激光光源发出广谱的光，然后通过一系列光圈和透镜聚焦。它最终集中在晶圆表面上。这种光产生一种干涉模式，然后用来测量晶圆表面上发现的结构的形状和大小。该机还配备了低相干干涉仪，用于测量诸如凹坑和台阶等微观特征。这种干涉测量是基于相移原理：测量被反射出特征的光，并与起始相进行比较。两个值的差异与特征的实际大小成正比。最后，该工具包括一个电动扫描阶段，允许更大的特征被精确测量。扫描阶段以受控的方式移动样品，同时进行多次测量并组合，以获得更准确的结果。所有这三种测量技术结合起来，对晶圆特征进行全面分析，使用户能够确定形状、大小、位置、表面地形等等。KLA UV 1050能够测量尺寸低至5纳米的特性，使其能够分析最具挑战性的晶圆。除了其优越的衡量能力外，资产还提供了一系列的好处。它配备了提供快速扫描和高精度的鲁棒运动控制模型，使其适合于高通量测量。它还具有确保样品稳定的闭环空气轴承级，有助于减少误差和提高精度。总体而言，TENCOR UV-1050是一种先进的晶圆测试和计量设备，为分析半导体晶圆提供了一种快速可靠的方法。它结合了光学、干涉和电动扫描技术，是各种应用的理想选择。