二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9031773 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供快速、准确和可靠的晶圆测试和测量结果。它旨在支持基于输出的测试和计量，即"OIM"，为各种工艺技术提供严格的性能优化和能力保证，包括光刻、沉积、蚀刻、平面化和后工艺计量。KLA UV 1050包括一个用于无损、高分辨率2D成像、3D轮廓扫描和折射率（RI）计量的低真空（LV）计量室。该系统还包括一个紫外线光源，用于光致抗蚀剂和其他晶圆表面成像应用。LV腔室针对图桉化晶圆成像进行了优化，可以精确测量各种CD计量任务的临界尺寸（CD）。该装置设计用于在恶劣的制造环境中可靠地运行,可以应对温度、压力和加速度曲线的变化。TENCOR UV-1050还包括一项获得专利的校准标准（CALIBRATE）和斜率匹配（SLO-MATCH）技术,该技术能够快速准确地表征产品质量和性能的不同方面,并且能够通过单次偏移执行多个CD测量。这样就可以在具有高吞吐量的过程室中进行彻底和连续的质量评估。该机器可配备各种可选组件,便于增强数据采集和分析。这些包括各种线性校正模块、高级漂移补偿算法以及各种探针选择选项，包括接触探针、扫描探针和非接触式探针。此外,该工具还支持高级源和检测器连接,并且与最新的掩码、晶圆、薄膜和标线软件兼容。KLA UV-1050符合业界最流行的测试标准，包括SEMI、ISO和MIL-Standard测试服。因此，该资产适用于各个行业，如半导体、微电子、航空航天等行业。此模型为用户提供了所有主要工艺技术的单一测试源,并消除了对专用测试源和硬件的需求。因此,它有助于简化生产过程并降低成本。