二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9172589 待售

ID: 9172589
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1999
Film thickness measurement system, 4"-8" Computer: 450 MHz / 850 MHz 1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是为亚微米至纳米范围设计的晶圆测试和计量设备。该系统具有高分辨率成像单元,用于晶片上的缺陷识别。它具有快速的扫描速度和多线程扫描体系结构,非常适合在苛刻的生产环境中准确识别缺陷。利用紫外线光源,1050还具有精确的模式识别功能,可以识别可能指示缺陷的复杂模式。KLA UV 1050具有模块化构建,具有可适应的零部件。其核心部件由舞台、照相机、照明、软件控制机等组成。舞台使用精确且可重复的扫描运动,提供具有精确影像对准的高解析度影像。摄像机捕获亚微米成像数据,然后使用车载软件包进行处理。照明工具允许950识别轴上和轴外照明的缺陷。除了高分辨率成像和模式识别外,TENCOR UV-1050还具有其他几种功能。它包括晶片对晶片和模具对晶片的比较能力,用于检测与工艺和计量有关的缺陷。它还可以执行晶圆厚度测量、晶圆边缘检测和图样迭加检查,以确保跨一系列基板的均匀性。UV-1050可以使用外部工具(如PC或笔记本电脑)或板载控制资产进行控制。其多才多艺的性能使其非常适合用于研究和生产环境。其全面的规范列表包括长期的可靠性、灵活的吞吐量和最低限度的硬件要求。与传统的检验方法相比,该模型在时间和金钱上都节省了大量成本。PROMETRIX UV-1050是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,可在广泛的应用中提供可靠且可重复的结果。它是高度可定制的,可以适应一系列的基材和尺寸。该系统的灵活性、效率和先进的成像能力使其成为对具有挑战性的晶片基板进行高效检查和表征的完美工具。
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