二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564 待售

ID: 9182564
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8" Handling robot: H2 Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm) Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System) PC: Intel P3 450MHz OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0 SECS II Interface 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备。它旨在对薄晶片和超薄晶片进行可靠和可重复的测量。它能够测量各种参数,如电阻率、厚度、地形和组成。该系统采用扫描电子显微镜(SEM)技术和一系列检测器,精确测量薄和纤薄样品的计量和电性能。各种子采样工具可用来测量一系列参数,包括电阻率、地形和功率。该单元配备了可变高速XY扫描以减少测试时间,以及可变步长的可变角度平台。角度平台能够选择不同角度,从而创建更详细的地形图。该机还有两个可变放大倍率的摄像头,允许用户放大不同区域的细节。KLA UV 1050还配备了显微镜,旨在为用户提供高度详细的样品图像。此外,该工具还提供光谱能力,允许进行一系列测量。该资产能够测量厚度高达500 nm的薄薄晶片。该模型还提供了一个内置的热电偶,可以用来测量温度。热电偶的输出被转换成振幅或频率信号,进而用来进行测量。TENCOR UV-1050具有广泛的测量能力,是研究人员和实验室需要重复和可靠测量的绝佳工具。此外,设备还具有很高的灵活性,允许用户为作业选择最佳工具。因此,对于那些需要精确测量薄薄晶片的人来说,它是一个必不可少的工具。
还没有评论