二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9185804 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备，自动化半导体质量保证和工艺优化。它是一个可配置的多应用检查系统，结合了两种技术用于高保真成像和同时电容探针用于精确测量。该装置能够快速准确地检查和测量半导体晶片上的亚微米尺寸特征。KLA UV 1050使用专有的最终影像机（FIS）提供粗糙或精细的成像能力。其FIS利用紫外线，允许光学检测硅片上的金属和非金属结构。由于紫外线的波长比可见光短，这台机器能够检测到比传统检测技术小得多的特征。此外,该工具具有多摄像头体系结构,可以通过曝光场补偿来检查晶片的两侧,从而确保从两个角度获得一致的图像。此外，电容探针被集成到TENCOR UV-1050中，以精确测量电线的厚度。利用电容测量系统，可以快速、经济高效地进行质量测量。此外,探针还支持晶圆级配方优化,以确保流程得到高效优化。PROMETRIX UV-1050能够以高精度测量、监视和控制晶圆几何形状。它具有易于使用和健壮的嵌入式控制资产,非常适合用于质量过程控制系统。它还具有扩展的自动化监视功能,允许检测早期流程问题、识别超出规格的结果并实时提醒用户注意潜在的产量问题。最后，TENCOR UV 1050采用了功能强大但直观的软件程序，允许用户快速、轻松地创建自定义检测配方。它还包括易于使用的图形用户界面和全面的报告模型，使用户能够以各种格式查看和分析检查结果。总体而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050是一种先进的晶圆测试和计量设备,可快速提供精确的测量和高保真成像。它结合了光学成像和电容探针，非常适合质量过程控制和不断改进。