二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9233594 待售

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ID: 9233594
晶圆大小: 6"
Film thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种高性能晶圆测试和计量设备,用于故障分析、产量改进、质量保证和工艺表征。它利用在紫外线和宽带红外波长上工作的激光器和成像元件来提供产品和基片的高对比度成像。该系统提供卓越的自动化计量功能,即使在非理想测量期间也能提高吞吐量和准确性。其先进的具有4K、2K和1K配置选项的BCAM分析仪可以精确描述任意复杂的特征,如粒度、地形和薄膜厚度。这种精确表征任意特征的能力使设备能够准确检测产量限制缺陷。机器的成像部件还能够检测各种粒子类型,从而提高了工艺的均匀性和更严格的工艺控制。它获得专利的低粗糙度光束扫描还可以在具有挑战性的环境中实现更精确的成像。此外,KLA UV 1050还配备了先进的软件工具,可方便高效地进行晶圆检查、数据采集、缺陷管理和生成报告。这些工具旨在帮助确保收集的数据准确、可解释且质量最高。TENCOR UV-1050能够集成到一个全面的故障分析工具中,从而能够对产品缺陷进行完整的分析,从识别到根源再到产生改进。此外,该资产与KLA和TENCOR系列故障分析系统完全兼容,从而允许跨系统共享数据。总之,KLA UV-1050是一种最先进的晶圆测试和计量模型。其专门的成像元件和先进的软件工具使设备能够提供卓越的计量能力,从而提高了非理想设置的吞吐量和准确性。此外,该系统能够完全集成到一个全面的故障分析单元中,从而改进产量和工艺特性。
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