二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9310905 待售

ID: 9310905
Thin film measurement system Amorphous silicon Oxide on aluminum Oxide on tungsten Transparent on transparent Oxide on poly Thickness range: 125 A to 250 A ±2.5 A 250A to 1.0 µm i1% Throughput: (90) Monitor wafers per hour, 8" (75) Pattered wafers per hour, 8" Pre-programmed focus (39) Patterned wafers per hour, 8" auto focus Absolute accuracy: Measurement time: 1.5-5 seconds typical per site Mapping: Die, Contour, 3-D.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050设备是一种针对半导体制造商的最先进的晶圆测试和计量解决方桉。该系统提供了缺陷检测、厚度和特征计量以及过程管理的最新技术。KLA UV 1050单元包括一套专有和业界领先的技术、软件和服务,提供了一个集成解决方桉,专为高晶圆吞吐量和减少停机时间而设计。TENCOR UV-1050机融合了2x2 CCD成像工具、超低噪声和分辨率CCD相机、先进照明系统、荧光检查和基于PC的过程控制等最先进的技术。这一资产是专门为满足半导体行业的严格要求而设计的。该模型还配备了多种选项,如自动对齐和成像、手动成像阶段、自动化过程控制和配方管理以及其他高级功能。此外,该设备允许与计量、清洁、缺陷检查和沉积系统等其他设备集成。PROMETRIX UV-1050系统还包括一个先进的紫外线检测照明单元,设计用于高晶圆通量,同时保持超低噪声灵敏度。这台机器提供准确的缺陷定位和掩模检查,同时补偿不均匀的辐照度跨越晶片表面。此外,该工具还提供精确的照明、角度相关的损耗测量以及灵活的自动化功能,可用于手动进行资产内晶圆对齐。KLA UV-1050模型通过集成目标表和图像处理技术,提供高吞吐量缺陷检测功能。KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050设备还具有创新的"跨晶圆均匀性"系统,以确保精确的计量测量。此单元专门用于测量晶片表面所有部分的特征均匀性、缺陷灵敏度和临界尺寸测量。此外,该机器还利用多种专有算法来提高缺陷检测精度,最大限度地减少错误检测,并消除可能的缺陷。总体而言,TENCOR UV 1050 Tool是一种综合性晶圆测试和计量解决方桉,旨在满足半导体行业最严格的要求。它集成了业界领先的技术和专有技术,以提供准确、高吞吐量的缺陷检测功能。此外,它还提供先进的对齐和图像处理技术,以及跨晶圆均匀性系统,以实现特征均匀性和临界尺寸测量的精确测量。
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