二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9377287 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一种晶圆测试和计量设备，使用先进的紫外线（UV）成像技术来评估半导体晶圆的缺陷、缺陷和非均匀性。该系统将精确、高速的全晶片成像与低光照强度源相结合，以检测整个晶片的微观不规则性。该单元的主要成像组件是8倍全场数码成像相机，具有驱动程序控制的放大范围（从3X到40X）。它可以捕获曲面和边缘轮廓数据,以识别宽度小至0.5微米的曲面特征。相机还支持彩色成像,以便于特征识别。此外，机器还通过自动检测晶圆基板上表面特征的存在来支持过程监控。该工具采用了一种正在申请专利的紫外线成像技术,通过提高晶圆通量,同时将光能需求降低10-15倍,提高缺陷表征和成像分辨率。UV成像资产提供有关分析可能影响半导体器件性能的最小缺陷的信息。该模型还使用户能够执行各种计量测量,包括表面和图样均匀性的地形测量、故障分析的电阻测量、基板均匀性测量和凹槽深度（用于了解设计问题）。该设备还包括一套用于分析、演示和归档数据的高级软件包。高级软件设计用于数字图像处理、3-D曲面映射、缺陷审查、数据比较和检查自动化。直观的图形用户界面简化了常规操作和数据可视化，使用户能够轻松分析和呈现数据。综上所述，KLA UV 1050是一个高度先进的晶圆测试和计量系统，将强大的紫外线成像技术包装成紧凑的设计。它提供超高分辨率的表面成像、增强的缺陷检测和表征功能、用于过程监视的计量应用程序以及用于数据分析、演示和存储的软件包。对于需要强大可靠的工具以确保质量性能的半导体制造商来说,此设备非常理想。