二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9115152 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080"晶圆测试计量"设备是一种高精度、高速的精密工程，将光学层测量、3D表面轮廓成像、集成散射法和全反射X射线荧光（TXRF）等先进技术结合成流线型封装。集成光学层测量平台利用先进的成像技术，精确测量半导体堆栈和晶片的层厚、组成、折射率和表面纹理。结合3D曲面轮廓成像和集成散射测量技术，使KLA UV 1080系统能够测量光学测量的半导体堆栈表面粗糙度、形状和纹理等参数。TXRF技术测量晶圆和堆栈中的元素，完整的测量结果包括元素组成和元素量。这允许与所需的规范进行比较。TENCOR UV-1080单元的优点在于，与其他方法相比，它能够检测和区分很小的层厚度和表面纹理变化，如光散射。这些技术在PROMETRIX UV-1080机器中的结合导致了与表面分析相关的综合速度和精度。这允许实时反馈，同时开发极其精确的半导体堆栈。集成散射测量软件结合了AI功能，以产生一系列光谱，以最佳地读出所测量的信息。该工具具有高分辨率摄像机和自动样品处理资产，可以在近场和远场进行测量。结合光学层测量,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080模型适用于广泛的应用,如晶圆工艺开发和表征、线宽测量、均匀性表征、切割/蚀刻深度测量和缺陷检查。KLA UV-1080设备是用于半导体堆栈和晶圆应用的高质量测量的可靠而强大的工具。结合尖端技术、精度和速度，在晶圆和堆栈开发过程中实现了高效、准确的表面分析。