二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9217742 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
已售出
ID: 9217742
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体器件制造后的检验和分析。它利用先进的成像技术和高功率算法,对各种晶圆尺寸、形状和材料中的缺陷进行映射、测量和分类,直至达到纳米级。该系统采用高功率100瓦UV激光成像头来捕捉基板表面的精确3 D图像。利用光谱成像,该装置可以检测SU-8等光学透明材料内的深色和浅色缺陷。1080采用先进的机动化级设计,用于精确的芯片内模具测量和放大到1000X的缺陷识别。这台机器提供了直观的图像捕获控件来捕获高分辨率图像,从而实现并排比较。1080还提供了与标准格式CAD库和设备模型的无缝集成,以确保精确的直方图数据和纳米精度的缺陷位置映射。此外,刀具还可以测量各种参数,包括曲面粗糙度、缺陷区域和深度。此外,资产还提供了一整套工具,用于审查、分析和解决缺陷。设计了KLA 1080模型,用于设备制造和测试各阶段缺陷的快速准确量化。它提供了缺陷解决功能,以验证过程的可重复性并降低与制造过程的可变性和材料相关的风险。TENCOR 1080是评估和排除产量和产量损失问题以及实施SPC过程的理想选择。它拥有快速、准确的缺陷成像、检测和量化功能,以及用于数据分析、报告和演示的强大工具。此外,该设备还具有用于高速扫描的自动晶片对齐功能、用于提高吞吐量的可选晶片处理程序以及改进的模模均匀性。
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