二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9224554 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
已售出
ID: 9224554
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一款先进的晶圆测试和计量设备,旨在为先进的晶圆计量和检验提供卓越的性能。它采用高精度干涉仪,以纳米精度测量晶圆表面上的图样结构。该系统具有先进的UV光学成像单元,可识别对比度最小且特征尺寸低于200 nm的小缺陷。它还可以对分辨率高达4k x 4k像素的大面积晶片进行高分辨率缺陷检查。KLA UV 1080是高度可配置的,允许根据应用程序定制计量和检查设置。它可以配置为以微米级精度检查样品的每一个特征,同时在源和目标模式下设置可接受性阈值。该机具有高速扫描引擎,高速扫描大晶圆区域,可同时执行亮场和暗场测量,产生准确的结果。工具的晶圆检查资产与一个用户友好的软件包相结合,允许操作员控制和数据分析。它利用尖端图像处理技术实现测量、过滤和缺陷隔离过程的自动化。该软件高度可靠,提供用户定义的输出设置,用于更详细的分析和报告生成。此外,TENCOR UV-1080采用可靠的自动聚焦技术设计,利用两个激光束和一个远场成像模型,提供卓越的精度和重复性。该设备具有高效的校准系统,旨在减少停机时间和提高准确性。它还可以执行边缘检测、模式识别、灰度分析等复杂的图像处理任务。该单元包含了多种配件和选件,包括真空晶片卡盘、UV检视面罩和模具和标线支架。它还与主要自动化系统兼容,以提供更长的测试周期和更高的吞吐量。最后,UV 1080是一种经济可靠的解决方桉,专为晶圆测试和计量需求而设计。
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