二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9266773 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
已售出
ID: 9266773
晶圆大小: 6"-8"
Film thickness measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080设备是一种用于半导体制造和晶圆测试及计量的专用仪器。它提供完整的过程中晶圆测试和评估解决方桉,以帮助集成电路(ICs)制造商取得更好的结果并改进其生产过程。具体来说,KLA UV 1080收集晶圆表面和相关模具区域的高分辨率2D图像,有助于自动分析过早或早期的IC故障。强大的光学成像系统旨在捕获和比较有关晶圆的各种信息,包括其尺寸、几何形状和缺陷映射参数。TENCOR的实时成像能力UV-1080能够对晶圆表面的过程诱导的动态粒子运动进行快速的现场测试和监测,有助于在生产过程的早期识别过程故障。先进的光学单元包括用于精确厚度测量的干涉仪,以及探测掩埋缺陷和其他地下成像的能力。机器的另一个关键特点是它的进程中软件套件,它包含了控制成像过程和分析结果的各种协议。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080还可以使用诸如对齐和成像自动化例程、实时性价比工具、统计过程控制(SPC)功能和晶圆图比较选项等选项进行定制。该工具丰富的特性和功能与坚固的构造和持久的运行时间相结合,可实现精度、速度和可靠性的最佳组合。KLA/TENORPROMETRIX UV-1080是必不可少的制造工具,提供无与伦比的晶圆测试和计量功能,可用于制造集成电路。
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