二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9268146 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一种晶圆测试和计量设备，利用紫外线（UV）辐射测量晶圆或半导体芯片的各种参数。它利用了两个先进的光学系统-UV四电池和UV双电池。四单元系统由四个检测器组成，每个检测器分别测量样品的不同特性，包括地形、CD值、斜率和锐度。第二个紫外线双细胞单元由两个检测器组成，测量样品的位置位移（X-Y）。该机的紫外线辐射具有快速的波长切换时间和高精度数据，可用于精确测量。这使用户能够检测晶圆表面的各种缺陷,如针孔、小丘和划痕。它也是精确定位临界尺寸（Cd）变化和执行薄膜拓扑分析的理想选择。此外,用户还可以分析材料组成、应力、平整度、覆盖和碳污染。KLA UV 1080具有较大的角度范围,便于扫描,并且可以以高达每小时150个晶圆的速度测量不同复杂程度的多个目标。该工具还具有内置晶圆处理能力，使手动操作最小化，只需要定期维护即可可靠运行。此外,还可以定制资产以适应特殊的测量要求,例如,可以包括更多组件（如Autoloader）以提高操作便利性。充分利用模型的潜力，可以与工业自动化和控制系统集成，使其成为生产和研究应用的绝佳工具。其数据采集能力和数据分析功能通过KLA Worksite NT软件启用。这个功能齐全的软件包含直观、可自定义的接口,旨在支持多个晶片加载和扫描操作。该设备还符合SMEMA（表面安装设备制造商协会）协议和ELPHY+控制协议标准。总体而言，TENCOR UV-1080是一种高效、准确、可靠的晶圆测试和计量系统，可提供快速、可靠的结果，是半导体行业的一项重大投资。