二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9269382 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是为高性能、精确的应用而设计的下一代晶圆测试和计量设备。该系统能够同时捕获多达1080张图像,以便快速检测缺陷和精确测量晶片上的特征。该装置具有极紫外线（EUV）源，在深亚微米特征尺寸上成像时提供卓越的分辨率。10倍变焦光学器件和5轴表格提供了一系列的磁场大小和分辨率级别,从而实现了快速、准确的数据采集。该机利用先进的图像处理算法，准确识别和表征缺陷。此工具能够自动进行缺陷分析,提供检测到的任何缺陷的详细分析和报告。资产具有将缺陷与过程历史关联的能力，从而能够及时完成根本原因调查。此外，该模型还可用于非常高精度地评估基板和IC。这些设备还提供先进的数据采集能力，能够捕获完整的晶圆测量数据。这包括测量关键参数（如CD、迭加、临界尺寸、标线或网络更改）的能力。该系统也是高度模块化的，允许在光学性能、图像分析和数据收集领域增加灵活性和定制。KLA UV 1080设计用于低颗粒和缺陷计数，确保晶片不受污染，任何异常都很容易辨认。其他功能（如周期时间短和由于自动修复刀具而使停机时间最小）有助于减少处理时间和成本。由于该设备提供远程诊断和用户友好界面,维护负担也得到了减轻。综上所述，TENCOR UV-1080是一种先进的晶圆测试和计量机器，旨在提供卓越的性能。其灵活的设计和特性阵列有助于为晶圆检测和测量应用提供完整的解决方桉。它简化的设计减少了停机和处理成本,同时保证了卓越的准确性和可重复性。