二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9275986 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一种晶圆测试和计量设备，利用先进的光学、成像技术和软件来提供晶圆表面地形的精确模型。它旨在获取晶片表面形态的高度精确的3D图,使工程师能够测量各种属性,例如存在缺陷和颗粒,以及薄膜层的厚度和均匀性。KLA UV 1080使用一种特殊显微镜透镜，该透镜结合了可选的冷凝器光圈、可调节的显微镜物镜和高分辨率相机，以同时捕获横跨晶圆表面的多个点。该系统的输出是一个独特的实时图像，然后将其转换为数字地图。然后将这些数据输入到专用软件中，该软件使用算法分析数据并生成晶圆条件的综合报告。除光学成像外，TENCOR UV-1080还利用各种专门的计量技术，如扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和其他定制技术来测量薄膜层的厚度和存在的任何缺陷或污染物。该单元还具有较宽的测量范围，允许检测小至1纳米的粒子，并使用3维溶液测量高达4微米。为了全面概述晶片的表面结构和状况,设计UV-1080可优化各种晶片的精度、可重复性和灵活性。该机包括一套全面的用户友好软件和控制选项，允许用户调整和定制测量参数。作为数据收集过程的一部分，该工具还自动存储以前的测试结果，以便对过去和新的测量结果进行比较和审查。PROMETRIX UV 1080的设计旨在为工业材料表征和缺陷检测提供卓越的细节水平、准确性和可靠性。通过将先进的光学技术、全面的软件和专门的计量技术相结合，这一资产是对基板表面进行高效可靠评估的宝贵工具。