二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9285228 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
已售出
ID: 9285228
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一种晶圆测试和计量设备,用于分析和获取晶圆的详细信息,包括其电性能、表面结构和缺陷。它具有先进的光学系统,由显微镜物镜、衍射透镜和激光组成,能够对各种晶圆材料进行高分辨率成像。这使得该单元非常适合用于检测和表征结构缺陷、粒子和其他关注的来源,以及执行诸如厚度、蚀刻深度和表面地形等测量。该机还配备了先进的运动工具,由精密晶片级、线性和旋转电动机以及编码器组成。这允许精确的晶圆对齐,使资产能够测量具有不可思议的重复性的单个晶圆上的多个站点。该模型用途广泛,可以支持各种样本量,从小模具到整个晶片不等,并且可以传播到400米,用于晶片染色和映射。此外,KLA UV 1080还具有基于高级照明和算法的高速、现场验证的图像处理功能。这使设备能够在各种缺陷类型和大小上准确地检测和表征缺陷,从而能够快速执行过程并进行深入分析。TENCOR UV-1080旨在确保准确的结果并减少总体测试时间。它具有广泛的系统组件,所有这些组件都可以进行配置和升级,以适应不断变化的计量要求。这使得它成为各种应用的理想晶圆测试和计量单元,包括过程控制、产量监测和故障分析。
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