二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250 #9312897 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250晶圆测试和计量设备是检查单个晶圆上集成电路的强大工具。它能够对每个晶片上的多达1250个单独位置进行采样，从而能够对广泛的参数进行高度定制和准确的分析。该系统的关键部件是紫外线光源,它采用激光诱导荧光耦合（LFF）和自动荧光耦合（AFM）技术。具体来说，该单元使用紫外线光谱的光子来激发和检查晶圆表面的特征和特征。通过LFF，机器能够确定表面薄绝缘层的厚度。然后，这些信息用于确定是否存在潜在缺陷，即所谓的"无缺陷"区域。该工具还提供了出色的用户可调对流层光学选项。这些设置用于帮助减少表面反射，优化晶片上的图像对比度，更好地量化晶片上的特征。同时,自动光学设置允许快速优化照明角度和工作距离,因此只需对光学元件进行最小的调整即可在晶圆的整个表面上获得最佳性能。除了光学元件外，资产还利用自动级、电动晶片卡盘和运动控制器。这种硬件组合确保晶片始终处于最佳位置以进行测量，因为整个晶片在显微镜扫描时保持静止。此外,晶片卡盘经过特殊设计,可确保扫描过程中不会发生振动或未对准。最后，该模型包括光谱成像软件，能够进行一系列的图像分析。这包括2D图像缝合、子像素配准和基于图像的缺陷分类。这样的分析允许精确分析到微米级，允许对晶圆性能进行高度精确的分析。总之，KLA UV 1250晶片测试和计量设备是晶片测试不可或缺的工具，提供无与伦比的精度和分辨率。该系统结合了激光、光学元件、自动级和专用软件，可以对单个晶圆上的集成电路进行高度详细的分析。