二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9195758 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE
ID: 9195758
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SE是一种高性能的半导体计量和检查工具,旨在提供最大的生产力和准确性。该设备能够同时测量各种材料上的临界尺寸、覆盖层、边缘轮廓和图样形态,包括硅、砷化的和玻璃。该系统采用专有的原位光学平台,允许在制造过程中全天候测试晶片。KLA UV-1250SE是一个全自动单元,结合了紫外线激光光源、透射和反射光学、动态聚焦控制以及先进的边缘检测算法,从晶圆获取和分析高精度数据点。光机能以相对较大的景深和较快的响应时间测量晶片。该工具具有灵活的喷嘴方向和扫描模式,能够对大型测试区域进行高通量测量。此外,该工具可以快速重新配置,使其能够满足各种应用最具挑战性的测试条件的要求。该资产提供高分辨率,使用户能够检测到表面特征的细微差异,如步长、缺陷大小和划痕深度。该工具还配备了高级检查算法,用于检测阵列和非图桉设备的各种潜在线宽、间距和临界尺寸(CD)相关缺陷。此外,自动边缘检测算法使模型能够准确定位设备特征以进行精确的迭加测量。该设备集成了环境控制和Class-1000的HEPA过滤器,以保持清洁的工作环境。先进的自动对焦校准有助于在不同厚度的晶片上保持一致的性能。用户界面是直观的,提供易于读取的测试数据和扫描晶圆图像的显示。此外,复杂的软件包还包括在测试结果不符合预设标准时自动发出警报。用户可以使用基于Web的安全界面远程访问和查看系统数据。TENCOR UV 1250 SE的另一个好处是它的可配置性。用户可以自定义配置设备以满足其特定需求。增加了涡轮分子泵和百叶窗等外围设备,可以提高精度和测试速度,使用户可以更好地控制机器的结果。总体而言,TENCOR UV-1250SE是一种出色的晶圆测试和计量工具,为用户提供无与伦比的速度、准确性和灵活性。资产的高级功能使其成为各种应用程序的理想解决方桉。
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