二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293603827 待售
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KLA/TENCOR Puma 9000是一款最先进的晶圆测试和计量设备,旨在增强半导体器件的生产和开发过程。它提供了一种全面、高度准确和经济高效的方法来测量和表征晶片在其整个表面上。KLA Puma 9000配备了自动晶圆处理系统,以提高精度和分析速度。该装置包括一台先进的照相机和扫描机,显示出更好的检测缺陷和特征的灵敏度。这些先进的功能使研究人员能够检测和分析最微妙的细节。频谱库允许识别和分类信号剖面。这改进了自动化测试操作,并允许进行更复杂的特性分析。此外,还有一个功能强大的软件包,可帮助开发和分析测试计划。这使用户能够映射出一整个测试序列,以最大化从每个晶圆导出的信息。TENCOR Puma 9000还具有高功率LDI(激光直接成像)工具,用于测量正面和背面的照片清晰度图层。这是伴随着一个计量室膨胀装载机,它可以用来测量任何大小的样品,无论是从正面还是从背面。此外,资产还附带一个增强型图像分析工具,用于分析给定晶圆轮廓上的特征测试。模型还具有"增强临界尺寸测量"(Enhanced Critical Dimension Measurement),用于检查晶圆上给定特征的几何属性。最后,Puma 9000配备了Fast Scanning WaferMap,这是一种极为敏感的工具,可以检测单个晶片的横向运动。这使得研究人员能够研究随着时间的推移对晶片的局部应变和热效应。综上所述,KLA/TENCOR Puma 9000为晶圆测试和计量提供了一个非常全面的解决方桉。从改进的图像检测到各种先进的软件工具,KLA Puma 9000是提高精度和速度的完美解决方桉。
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