二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293606939 待售

KLA/TENCOR Puma 9000是一种用于晶圆测试和计量的高精度自动化设备。它专为大批量生产而设计，能够通过先进的光学和检测算法进行地下计量和缺陷检测。该系统的主要组成部分是激光光学传感器，它可以提供微观分析晶圆的特性，如微观结构和纳米结构。该装置能够达到高分辨率，产生精确到几纳米以内的测量值。通过使用专门的梁定位机，该工具还可以绘制和分析三维特征。该资产配备了一套工具和软件，能够对晶圆特性进行高级分析。一组模式识别算法可用于识别单个晶圆内的缺陷。该模型也是可扩展的，使用户能够进一步定制他们的测试和测量。KLA Puma 9000除了具有缺陷检测能力外，还能够对表面拓扑和其他特性进行精确测量，用于过程控制和产量管理目的。这可以包括晶圆电阻率和均匀度的测量。TENCOR Puma 9000完全自动化,能够实现高吞吐量和周期时间。它包括全面的数据记录保存、与现有系统的集成、测试结果的完整可追踪性、流程配方和硬件配置。该设备还具有很高的可靠性，通过了无故障性能记录的现场测试。总体而言，Puma 9000是一种先进的用于自动晶圆测试和计量的计量系统。它提供高分辨率和准确性,以及一系列功能和优化,以实现高级精确检查和测量。凭借其自动化和可追踪性功能,它为生产环境提供了理想的解决方桉。