二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038 待售
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KLA/TENCOR Puma 9000是KLA开发的自动化晶圆测试和计量设备。该系统旨在通过实施先进水平的测量和分析技术，提供全面的半导体工程解决方桉。该装置能够提供实时分析和检查，以及过程控制，以确保最佳的晶圆产量和最佳的制造条件。该机采用高分辨率成像技术进行晶圆检测和计量，并采用先进的模式识别软件进行缺陷检测。这样可以完全控制过程,从最初的模条对齐到最终产品的光学性能评估。它还为生产用于提高产量的数据提供了一种有效的手段。KLA Puma 9000提供一流的速度和准确性,并具有优化的运行时间和吞吐量。这个工具能够每小时检查多达25个晶片，分辨率降至1微米。它配备了高通量、非接触级,能够在一次扫描中自动测量和分析晶圆上的多个位置。资产的成像能力可以捕获0.3微米左右的晶圆特征。TENCOR Puma 9000与主机过程控制系统集成在一起,能够在模块、工具和模型级别进行数据收集和分析。这允许即时优化流程,使供应商能够提高吞吐量,并对流程变更做出快速反应。此外,该设备还与一系列配方兼容,确保传输适合用途的缺陷检测和过程控制算法。总体而言,Puma 9000是一种高性能、集成的晶圆测试和计量解决方桉。它允许将晶片的自动检查和计量与基于配方的过程控制结合起来。该系统改进了对流程和产量的控制，允许快速和可靠的计量和缺陷识别，从而提高了结果的准确性和可重复性。
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