二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #81748 待售
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已售出
ID: 81748
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Darkfield Defect Inspection Tool, 12"
Main Computer: DELL Power Edge 2600, 2x Intel Xeon CPU 2,8 GHz, 2GB RAM, Bus Speed 533
MHz, L2 cache: 512 kB
Image PC: Mercury, SN: Z2111
(Qty 2) 12" loadports Asyst 300FL, S3 STD, KT07
Wafer ID reader "Cognex 1701"
Main Power Input: 208V, 3ph,
12" robot with one endeffector (fork)
Subequipment: Blower (KLA-Tencor)
Disk-Management: Array: PERC 4/Di
Disk 0: 546 GB
C: 20 GB, D: 50 GB, E: 426 GB, Z: 50 GB
Main Computer: Windows 2000 Server Family, 5.00.2195, SP4, BIOS Rev. A10
Application: Ver 9.1.703_2, 14. Q4 2007
Last Software upgrade from 9.1.424 to 9.1.703 on 15. Q1 2008
Cougar 9.1.703, 14.Nov 2007
Wafer Inspector V.9.1.703_2
CE Marked
2004 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000是一种先进的晶圆测试和计量设备。它将高速光学、X射线、晶圆广播和缺陷审查功能结合在一个独特的、经过生产验证的平台中。KLA Puma 9000在每种计量应用中都提供了最佳的性能和价值,从快速、非接触式的临界尺寸结构检查到对过程敏感模式的缺陷审查。TENCOR Puma 9000旨在为晶圆制造商提供分辨率最高的图像、更快的吞吐量和性能,以快速检测细微的缺陷。Puma 9000为用户提供了检查最困难的高级节点设计规则所需的高级工具。该系统的5-QX X射线探测器使用多达八个激光器进行高精度CD测量，具有业界最快的全晶圆广播速度。它还具有用于无与伦比的X射线和CDS测量的双波长配置。KLA/TENCOR Puma 9000提供业界分辨率最高的数字成像单元,像素大小小至三微米。机器先进的图像处理算法使它能够以最高的精度检测和分析极小的特征。它的自动缺陷审查功能消除了手动查看的需要,并简化了快速识别缺陷的过程。KLA Puma 9000具有增强的线路匹配算法和先进的线路定位/跟踪功能,可确保最高的计量精度。TENCOR Puma 9000还提供最新的自动化和连接性,允许用户通过自动化脚本和数据收集工具来控制该工具。它包括可选的条形码标签阅读器和自动晶圆处理系统,可进一步增强其性能和灵活性。此外,Puma 9000的以太网/IP和USB端口使与外部系统的接口变得容易。KLA/TENCOR Puma 9000提供了广泛的功能,以满足业界的各种需求。它灵活的设计和高级功能为客户提供了计量和测试应用程序中的最高性能和最佳价值。
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