二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #9232234 待售

KLA/TENCOR Puma 9000是一个晶圆测试和计量平台，旨在快速、准确、可靠地测量半导体器件结构、均匀性、地形等晶圆参数。该设备利用先进的扫描电子显微镜（SEM）成像、自动光学检查（AOI）和激光干涉测量（LI）工具，生成全面的数据集，详细说明晶圆上各设备的性能。它非常适合同时测量多个特征，并且有可能减少分析晶片所需的时间，而不会影响精度或可靠性。KLA Puma 9000旨在适应多种条件，使其非常适合高温或低温环境，或存在尘埃和碎屑的环境。它能够分析直径最大为8英寸的晶片，具有极好的动态范围，可用于高细节图像和特征分析。平台结合多种传感器和集成电子设备，检测喉深、俯仰、线宽、线角、缺陷型等结构特性。该系统利用先进算法对特征进行精确分类，提取包括总缺陷面积、缺陷密度、平均宽度、间距等诸多参数的数据，提供快速可靠的集成数据解决方桉。此外，该单元还配备了卓越的自动化能力。它使用嵌入式粒子检测机和平板检测器以完全自动化的方式扫描晶片，可以配置为单独检查特定结构或协调大型数据捕获和分析点集合，以满足大规模分析需求。TENCOR Puma 9000包含用于样品定位的软件控制机械级,并提供高精度对准选项,以实现卓越的精度。最后,它包括自动屏蔽以确保可靠的数据收集,并且可以配备内置离子束源或光纤连接以集成到现有平台中。Puma 9000是晶圆测试和计量任务的完美解决方桉。该平台将扫描电子显微镜、自动光学检查和激光干涉测量技术合二为一，提供前所未有的数据精度、可靠性和速度。它的自动化功能和软件控制的机械阶段允许对多个功能进行准确和可重复的测量,而无需操作员干预。该工具旨在承受恶劣的环境条件，能够扫描直径达8英寸的晶片。综上所述，KLA/TENCOR Puma 9000是领先的晶圆测试和计量解决方桉。