二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #9378722 待售
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KLA/TENCOR Puma 9000晶圆测试计量设备是下一代晶圆测试计量系统,旨在为半导体器件制造商提供高精度、高通量的晶圆测试计量结果。与早期版本的Puma系列相比,KLA Puma 9000具有先进的扫描和测量功能,可显着提高性能、准确性和吞吐量。TENCOR Puma 9000的主要部件包括其最先进的CCD视觉单元、全范围区域阵列光阻计量机以及全自动规范扫描和计量分析工具。CCD视觉工具可以对晶片的顶部和底部表面进行全面的视场检查,而区域阵列光阻测量学资产则可以对晶片上的薄膜厚度和表面轮廓进行高度精确的表征。自动规范扫描和计量分析工具集支持高效的数据收集、自动特征表征、数据处理、纠错、统计分析和详细报告。Puma 9000还包括一系列高级的用户可配置软件包,允许用户根据特定的晶圆工艺要求自定义模型。这包括高级特征检测和表征、全面纠错功能、自动扫描和计量、嵌入式基于模型的缺陷检测和修复以及统计数据分析和报告。KLA/TENCOR Puma 9000设计为在恶劣的环境中运行,具有完全自动化的工业级机箱,旨在防止灰尘和腐蚀。此外,KLA Puma 9000还利用了许多先进的电气和光学保护功能,如可编程光滤镜、针对不正确电源电压的保护以及电涌保护,以确保即使在最具攻击性的环境中也能实现高性能和准确性。总体而言,TENCOR Puma 9000是一款极其先进的晶圆测试和计量设备。Puma 9000凭借其先进的CCD视觉系统、区域阵列光阻计量器单元、自动化分析工具和定制软件包,旨在提供最高水平的准确度、速度和可重复性,允许对半导体器件制造中使用的晶片进行快速、精确的测试和表征。
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