二手 KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157 待售

KLA/TENCOR Puma 9000D是一种晶圆测试和计量设备，提供无与伦比的精度和吞吐量能力，以确保最高质量的产量和产量。该系统将先进的晶圆检测与自动计量相结合，以识别和测量晶圆上存在的任何缺陷。KLA Puma 9000D提供了无与伦比的准确性和速度来识别和测量当今高密度晶片上极小的缺陷。TENCOR PUMA 9000 D的自动计量器能够准确快速地测量宽晶圆区域上的特征,从1 µm到5 µm的特征,速度高达2 µm/秒。它还测量晶片表面上的广泛特征，包括CD、线性间距和线宽、台阶和突出高度。在成像方面,PUMA 9000 D提供高清成像功能,具有广阔的视野,可帮助您深入了解每一个缺陷,并验证测量精度。它具有可选的多视觉模式功能,每秒可提供480张图像,用于大视野。其先进的图像处理算法以前所未有的细节准确检测和测量包括划痕、粒子和位错在内的晶圆缺陷。机器的高精度线性级也提供了一个参考精度水平。其高精度驱动技术提供微米级精度，允许极精确的测量。KLA PUMA 9000 D的空气扫描模块为当今最小的设备提供了全方位的检查功能。此外,它的开放式体系结构和模块化设计允许轻松、经济高效地定制和升级工具。内置的自动对焦功能以及自动晶片加载和跟踪功能可最大程度地减少操作员的技能要求,并允许将资产快速集成到生产线中。为确保获得最高质量的结果,Puma 9000D提供了全面、直观的操作员控制和报告功能。这包括一个自动缺陷报告模型,用于创建每个缺陷及其在晶圆模式中的位置的报告。它还为集成和简化的过程控制提供了全局缺陷控制选项。TENCOR Puma 9000D提供前所未有的准确性和速度,这对于满足当今的生产要求至关重要。KLA/TENCOR PUMA 9000 D具有先进的晶片测试和计量技术,为确保高产优质晶片提供了高效的解决方桉。