二手 KLA / TENCOR Puma 9000D #9261863 待售
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KLA/TENCOR Puma 9000D是一种高性能晶圆测试和计量设备,由高端计量和检验组件组成。它提供了半导体制造中使用的IC的实时尺寸、材料和缺陷表征。KLA Puma 9000D配备了由数码CCD相机和各种镜头组成的强大、多通道视觉系统。这些图像用于在传输或反射中捕获IC的图像,以及用于高分辨率结构化光成像。该单元还包括一个高分辨率的激光散射仪,它可以测量微小的缺陷和材料变化具有高精度和重复性。TENCOR PUMA 9000 D还具有特征识别、2D图像分析、3D计量、缺陷分类等高级算法。这使机器能够用最小的数据采样精确测量晶圆上的物理特性和缺陷。该工具还支持自动检查,提供快速、准确的质量分析。Puma 9000D是一种全方位服务的资产,能够测试尺寸从6"到12"不等的晶圆。它允许分析IC上的单模或晶圆级数据。该模型支持使用一系列工具(如自动晶圆图)进行多节点测试,以便快速可靠地查看晶圆数据。KLA/TENCOR PUMA 9000 D设计用于多种半导体应用,包括DRAM、Flash、SRAM、DRAM/Flow和Logic。它与领先的软件和硬件(如StatisticsWorkBench、SPC-Metrix、Metrix-Plus和ATE接口)兼容。这使得设备非常适合大型和小型制造环境。KLA PUMA 9000 D还包括可追踪性、数据存档和统计过程控制(SPC)等功能。这些功能为操作员提供了质量指标的访问权限,允许进行自信的决策,并提供操作和质量数据的安全审核跟踪。该系统还支持多个检查选项,可以定制以满足特定要求。TENCOR Puma 9000D是一个可靠和先进的晶圆测试和计量单元,提供精确的缺陷检测和可靠的过程控制。它允许高度的准确性和可重复性,使用户能够对IC做出自信的决策,并简化其半导体制造过程。
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