二手 KLA / TENCOR Puma 9000D #9406885 待售
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ID: 9406885
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Darkfield inspection system, 12"
EFEM: Dual FIMS (EFEM) with Phoenix handler
GEM, SECS and HSMS
4-Color signal light tower: R,Y,G,B
VANGUARD UV Laser head, 1W
Laser wavelength: 365nm
Selectable Scan Line (SL): SL10/15/20/40/60
(2) ISOPORT Loadports
FEC
Interlock controller
ACDC Power
YASKAWA Controller
Stage:
X, Y and Theta stage installed stage locking jig
PS2 / X,Y1,Y2,ADSC Amp
SMAC and X-Flex board
2-FVPA (Rear FVPA missing)
PS1 and Z Amp missing
Optic
AF Camera
Line scan camera
CIB 1,2,3 Board
XTC Board
AF Unit
AFSB
Focus missing
CH2 Line scan camera missing
Laser power supply
Laser head
Galil board (3-Channels)
User interface:
IMC System (Mercury and host PC)
SCC (HDD Missing)
Monitor
Keyboard
Joystick
Blower box
Line conditioner
UI and IS Connected cable
Exhaust hose
2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D是一种晶圆测试和计量设备，提供高性能的光学和自动化检查。该系统经过专门设计,可提供高精度和高精度测量,用于高级3D设备表征。它提供微米级分辨率和特殊的信噪比，使其越来越可靠的检查在半导体行业。该单元的核心是其先进的光学计量能力。双波长光谱仪使用广泛的光源来测量器件参数，如厚度、光学性质、晶圆表面多个点的平坦度等。该光谱仪利用线扫描和多个衍射仪来检测具有极高分辨率和精度的特征。此外，光谱仪还配备了一个自动化的路线计划，使其能够快速准确地创建任何晶圆的表面轮廓。KLA Puma 9000D还具有高级自动化检查功能。高分辨率3D成像机利用折射和反射工具检测晶圆表面的微小特征。3D成像工具用于测量各种设备参数,包括线宽、长宽比、孔深度和热应力。此外,此资产还配备了自动缺陷审查分析仪,可以检测和报告肉眼看不见的小表面缺陷。除了这些功能外，TENCOR PUMA 9000 D还包含了几个高级软件功能，旨在提高用户效率。该模型包括一个复杂的缺陷特征映射程序，可以以多种格式呈现设备数据。软件还可以访问大量缺陷算法库,这些算法允许精确和可重复的测量。这有助于减少检查时间，提高准确性。彪马9000D是一款极其先进的设备，旨在提供高性能的检测服务。其先进的光学和自动检查能力可以在微米水平上进行可靠和准确的测量。此外,这些软件功能功能强大且用户友好,便于分析和解释数据。凭借其先进的功能，PUMA 9000 D非常适合半导体行业的广泛应用。
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