二手 KLA / TENCOR Puma 9100 #9023788 待售

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ID: 9023788
优质的: 2006
Pattern defect inspection system, 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9100晶圆测试和计量设备是KLA Corporation的最新产品,KLA Corporation是半导体计量和检验的全球领先者。此通用系统经过精心设计,可支持各种高级阵列应用程序。KLA Puma 9100先进的模式设计能力包括:全芯片自动光学检查(AOI)、自动化过程控制(APC)、抗检测、缺陷检测和量化缺陷分析。它还提供了强大的流程优化功能,允许用户根据自己的特定需求调整流程参数。TENCOR Puma 9100具有先进的光学和成像技术,可以捕获最详细的图像。其快速、精确的光学元件可以快速感测表面和地下特征。TENCOR专有的正交传输单元(OTS)为用户提供了从一侧快速检查和测量阵列晶片而不旋转样品的能力。Puma 9100配备了四个独立的摄像头模块,分辨率各不相同,使用户能够轻松地检查晶圆的各个区域。ResolveMax™成像软件为用户提供了晶圆结构的全面视图,使他们能够测量、检测和量化缺陷。KLA/TENCOR Puma 9100还通过其KLA/TENCOR计量工具提供高级计量功能。用户可以远程访问计算机的图形用户界面(GUI)以测量线宽、查看布局和设置公差。这些工具使用户能够快速发现缺陷并采取必要的纠正措施。KLA创建了KLA Puma 9100,成为可靠可靠的晶圆测试和计量解决方桉。该工具设计坚固耐用,同时提供最高水平的准确性和可重复性。资产的高级功能和工具使其成为需要优化流程的流程工程师的理想选择。
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