二手 KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502 待售

KLA/TENCOR Puma 9120-IS是半导体工业中使用的全自动晶圆计量和测试设备。它能够测量和分析集成电路的电气和物理特性，包括小到0.1微米的微小特性。KLA Puma 9120-IS配备了强大的光学显微镜系统，使用CCD相机和放大镜来测量器件结构的详细特性和晶片上的其他特征。它能够捕获分辨率为5x5微米的图像，捕获的特征小于30纳米的3D深度。该单元还能够测量至少30微米的器件的线性和角度模式，从而在微观水平上实现精度。为了表征、分析和排除设备的性能,该机采用了晶圆到晶圆的主动对准测量、坐标测量机（CMM）和可变角度光谱椭圆偏振（VASE）等多种技术。通过为用户提供这三种用于高级分析测量的工具,TENCOR Puma 9120-IS是一个特殊的IC电气和物理表征平台。在测试功能方面，Puma 9120-IS具有执行各种测试的能力，如表面测量、探测、电气协议测试、泄漏基板测试和模具拉力测试。它还能够对各种设备（如DRAM、Flash设备、EPROM、OTP和LCD）进行晶圆级增强测试。此外,Puma支持对直径不超过200毫米的晶片进行自动晶片处理。它还提供了一个集成的缺陷审阅工具,该工具具有算法自动审阅和用户定义的标准,从而可以更快地解决问题。KLA/TENCOR Puma 9120-IS是一种高性能仪器,具有精确、精确的测量性能,是集成电路表征、测试和故障排除的理想选择。它能够处理各种集成电路,对自动对焦和自动测量技术的支持有助于确保正确的结果并节省时间。