二手 KLA / TENCOR Puma 9120 #293705738 待售
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ID: 293705738
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Equipment Front End Module (EFEM)
PC Processor Type: x86, Family 15, Model 4, Stepping 10
Genuine Intel: ~3391 Mhz
Operating system: Windows 2000
(3) Inspection pixel models
Pixel Sizes: sL5, sL8, sL20
Power: 208V, 60Hz, 83A
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120是为半导体制造应用而设计的最先进的晶圆测试和计量设备。KLA Puma 9120是一个功能强大、用途广泛的系统,为过程控制和故障检测提供快速、准确的结果。TENCOR Puma 9120是一个全自动单元。它配备了高速、小视野、Color Darkfield Inspection机器，使其能够快速准确地识别和量化晶圆等元件上的缺陷。其先进的软件使其能够智能地区分粒子和图案。该工具能够在3个维度上测量多达128个特征,包括尺寸、形状、位置、方向和纹理。其集成的Metrology站，配备了高分辨率的成像资产，使其能够同时分析多达64个晶圆。这包括测量各种特征的晶片内和跨晶片相关性的能力。Puma 9120还配备了强大的数据管理模型,旨在跟踪和存储测量数据,并准确预测与每个设备的设计相关的产量。KLA/TENCOR Puma 9120是一款模块化设备，使其能够轻松定制和配置，以满足用户的特定需求。它还具有用户友好的界面,使操作员可以轻松访问系统配置、设置和测量。此外，其超低振动和声响水平使其适合在洁净室环境中使用。总体而言，KLA Puma 9120是一个先进且用途广泛的晶圆测试和计量单元，旨在提供快速、准确的结果并帮助降低半导体生产成本。它易于设置、配置和操作,其模块化设计使其易于针对特定应用进行定制。它是一种经济可靠的过程控制和故障检测解决方桉。
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