二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #293758114 待售
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KLA/TENCOR Puma 9130是用于半导体制造的晶圆测试和计量的强大工具。它专门研究各种材料的高速、无损在线计量和直径达300毫米的晶圆尺寸。KLA Puma 9130使用多传感器平台提供了一种高效、自动化的方式来收集、解释和记录晶圆的关键参数。这包括关键过程的缩放参数,如间距、轮廓、厚度和表面地形,以及结构和化学信息。它的软件套件提供了快速、方便的实时数据访问,允许对当前和历史晶片进行全功能分析。TENCOR Puma 9130设计用于生产运行的高容量、高精度检测。它的高分辨率相机和多层光学显微镜提供了晶圆表面的微观视图。其先进的算法可以检测到划痕、污染物和晶体变形等微观缺陷。Puma 9130配备了强大的自动化晶圆处理系统,允许以最小的设置和操作员参与来连续生产运行。其自动化软件还包括易于使用的用户界面。该系统可以集成到现有生产线中,让所有运营商在短时间内熟悉产品。系统集成功能提供了连接到现有测量系统和生产线机械的简便方法,能够快速响应生产过程中的任何更改或调整。此外,它的远程访问允许远程监视和控制,从而提高了灵活性并加快了对紧急情况的响应。总体而言,KLA/TENCOR Puma 9130提供可靠、准确和高速的晶圆测试和计量。它易于使用的软件、强大的自动化和远程访问功能,使其成为生产高级半导体的宝贵工具。
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