二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9214946 待售

KLA/TENCOR Puma 9130是一种高级晶圆测试和计量设备,提供专属功能。该系统是为了在现代生产环境中最大限度地提高生产效率而构建的,可提供精确可靠的测量结果,作为标记和测量复杂半导体晶片的强大工具。KLA Puma 9130是一种多功能晶片测试解决方桉,能够测试各种晶片,包括：CMOS、SOI、MEMS、溷合信号和电源设备。该设备配备了最新的成像技术，可精确检测晶片上的缺陷和特征。TENCOR Puma 9130具有4 × BSE成像模式,能够更精确地检查设备。此外,它还提供了一系列探测功能,以支持精确的缺陷和特征定位,以及完整的2D/3D计量测量阵列。该机器利用其专利的偏振光能力，其目的是使高分辨率成像捕获晶片表面的精细细节。该工具的高精度阶段定位资产旨在对非常小的特征尺寸进行精确的测量。通过使用定位和模式识别技术，该模型可以精确测量设备结构，如门结，以及其他小特征。Puma 9130独特的体系结构使其能够灵活配置,即使在狭窄的空间中也能执行各种晶圆测试功能。它有一个综合的环境室来控制环境和温度，以便调节测试条件和减少可能损害晶片的氧化效应。KLA/TENCOR Puma 9130具有高吞吐量和快速处理能力,使其成为生产环境中的绝佳解决方桉。该设备能够每小时测试300个晶圆，并具有独特的低颗粒环境。这与低拥有成本相结合，使其成为高通量晶圆测试和计量系统的绝佳解决方桉。