二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9392082 待售

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ID: 9392082
优质的: 2008
Darkfield inspection system, parts system 2008 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9130是一种晶圆测试和计量设备,设计用于在器件制造过程中对半导体晶圆进行高精度测量。该系统包括一个自动自对准晶片级、一个视觉成像单元、各种测量和分析选项以及一套专门设计用于帮助操作员分析数据和作出更好决策的广泛软件。KLA Puma 9130拥有多台相机、强大的光学显微镜和高度灵敏的测量仪器。这种组合使得机器能够检测到纳米尺度极小的缺陷结构。它还可以精确地测量其他设备结构,直到一个纳米的分辨率。此外,TENCOR Puma 9130的先进成像工具与其精密的空间过滤算法提供了良好的对比,从而可以对设备进行更详细的检查和测量。资产的测量和分析选项高度可定制,其软件工具可帮助操作员快速查明模具缺陷、确定根本原因并推断趋势。使用KLA CDS软件,用户可以在设置测试之前模拟图像以确定预期的行为。该软件还与CDS数据库集成,用于存储和跟踪测量结果。Puma 9130是一种功能强大且准确的模型,可用于广泛的晶圆测试和计量应用,包括自动缺陷检测、晶圆映射和分析以及过程控制。它具有自动化的分阶段、直观的软件和全面的功能集,可在节省时间和金钱的同时提供卓越的效果。设备的模块化设计使组件易于添加或升级,从而使客户能够扩展和调整系统以满足其需求。
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