二手 KLA / TENCOR Puma 9130 #9398548 待售
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KLA/TENCOR Puma 9130是为生产级晶圆测试和计量而设计的精密计量和晶圆测试设备。该系统能够对晶片进行高度精确的测量和测试,典型精度为1.2纳米。该单元能够测量晶圆的多种配置,并且可以扫描直径达6英寸的晶圆。KLA Puma 9130是一种全自动机器,允许用户快速准确地分析、检查、诊断和修复半导体晶片和芯片。TENCOR Puma 9130具有专有软件平台,允许用户配置和控制工具操作的所有方面。该资产由12通道光学显微相机和三轴运动模型提供动力,该模型提供高分辨率成像,可以精确测量和分析晶圆特征。Puma 9130具有高分辨率图像处理设备,可从图像中获取数据。该系统可用于检测、测量和分析晶片特征,如临界尺寸、线宽、边缘放置和形状活动。该单元还提供晶圆映射以实现半导体芯片的精确测量。该机还配备了生产级自动化缺陷检测工具。此资产使用一系列图像处理操作来检测断线、开孔、缺少颠簸和其他各种缺陷等缺陷。此外,KLA/TENCOR Puma 9130还包括一组图像分析工具,能够准确分析图像中的数据。这包括高分辨率半导体特征检测、晶圆级缺陷分析、模式轮廓和表面轮廓,以及高级计量图。这允许用户获得晶圆特征的关键尺寸和形状的精确测量。总体而言,KLA Puma 9130是一种生产级晶圆测试和计量模型,能够对半导体晶圆进行精确分析和检验。该设备具有高分辨率图像处理、缺陷检测、图像分析和计量映射功能,允许用户从晶圆中获取高度精确的数据。这使得该系统成为生产级晶圆测试和计量的理想选择。
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