二手 KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224 待售
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已售出
ID: 9177224
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 IS是业界领先的晶圆测试和计量设备。先进的技术结合了精确的光学、图像识别和计量能力，使晶圆检测和分析速度更快、更准确。KLA Puma 9150 IS专为满足大容量半导体制造的需求而设计。TENCOR Puma 9150 IS具有9个高分辨率、自动化的RGB摄像头,这些摄像头可通过多级多路复用选项对晶圆进行检查。这可以让使用者快速扫描晶片，寻找几种类型的缺陷，包括表面不规则、粒子污染物，以及像光刻错误这样的过程相关污染物。光学系统提供精确的测量到纳米尺度.自动晶圆检测过程可以实现精确、高效的晶圆表面分析。系统的计算机视觉技术使用户能够准确识别和分类任何检测到的缺陷。此外,Puma 9150 IS能够提供实时计量数据,以帮助在晶圆测试阶段进行决策。KLA/TENCOR Puma 9150 IS还配备了功能强大、易于使用的软件，简化了图像捕获和分析。该软件具有用户友好的图形用户界面，并提供高级视频图像处理功能。此外,它的模块化允许自定义配置以适应不同的晶圆测试和计量应用。KLA Puma 9150 IS通过自动从收集的数据中学习来实现高速吞吐量。它旨在快速、准确地验证传入材料,同时提供反馈,优化未来运行的过程。此外，综合计量单元以其高精度而脱颖而出。通过利用独特的校准，它提供了可重复和精确到纳米尺度的结果。总体而言，TENCOR Puma 9150 IS是一款先进的晶圆测试和计量机，结合了最新的光学和图像识别技术。这种可靠的工具提供可靠的晶圆检查和计量结果，具有卓越的精度和可重复性。它的模块化和强大的软件使其具有高度的可配置性,使其成为满足任何行业标准晶圆测试和计量需求的绝佳解决方桉。
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