二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #293606942 待售

KLA/TENCOR Puma 9150晶圆测试计量设备是一个提供全面、准确和可靠的半导体过程控制和缺陷分析的计量平台。KLA Puma 9150平台利用一系列先进的计量技术,包括散射测量、AFM和其他光学方法,为过程控制和缺陷分析提供了强大的集成能力。TENCOR Puma 9150系统通过精确测量关键尺寸在制造过程中有一个装置来实现过程控制。这是一项有助于确保进程中每个连续步骤正确执行的功能。使用Puma 9150,工程师和科学家可以监控复杂的表面和特征形态以及他们在生产过程中制造的每个设备的局部层厚度。KLA/TENCOR Puma 9150单元是专门为满足流程和缺陷分析的严格要求而设计的。该机具有六个可调轴和两个垂直运动轴，并装有先进的传感器，如可一次测量晶圆上几个点的多点散射仪、200 nm分辨率的逐点散射仪、5nm分辨率的扫描电子显微镜和自动聚焦离子束（FIB）。所有这些传感器都提供了进行高分辨率光学和电气测量的能力。KLA Puma 9150工具集成了一套功能强大的过程控制和缺陷分析软件,旨在满足最高的质量标准。该软件能够执行一系列处理任务，从简单的监控和数据可视化到复杂的图像处理、特征提取和统计分析。TENCOR Puma 9150资产提供快速、准确的计量结果，适用于可信的统计过程控制。集成模型为预测晶圆产量和质量参数提供了强大的平台。Puma 9150的传感器种类繁多,可准确检测和纠正制造过程中的任何缺陷,确保在整个生产过程中优化设备性能和产量。总体而言,KLA/TENCOR Puma 9150晶圆测试和计量系统是一个有效的平台,可提供全面、准确的过程控制和缺陷分析。其先进的计量技术和强大的软件套件为监测和优化晶圆制造提供了可靠和可信的解决方桉。