二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535 待售

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ID: 9217535
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Darkfield inspection system, 12" YASUKAWA Transfer robot ASYST Foup 2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150是一种先进的晶圆测试和计量设备,用于晶圆上的检测、计量和图像分析。它具有自动化的机械臂、精确的运动控制以及强大的成像和处理功能,可快速准确地捕获图像和分析数据。该系统由晶圆处理级和成像处理模块两个主要组件组成。晶圆处理阶段是一个自动机械臂,精确定位一个样品晶圆,用于成像和分析过程,允许该单元用于各种尺寸的样品。该阶段还会调整样品的方向和高度,以确保分析以及成像和数据捕获的准确性。成像和处理模块由成像机、控制接口和多个处理模块组成。成像工具由两个电荷耦合器件(CCD)相机组成,能够拍摄分辨率高达10微米的图像。此外,资产配备了多焦点光学器件,使其能够收集有关晶片的有用信息。同时,KLA GUIMind软件等控制接口提供了直观、全面的用户体验,并对模型进行了全面控制,提供了集成的数据管理和高级分析。最后,设备包括缺陷分类模块等几个处理模块,用于全面检查和计量。这确保了系统收集到的数据是准确的,可以在晶圆集成到一个单元之前进一步分析和用于确定晶圆的任何潜在问题。KLA Puma 9150机器是晶圆检验和计量的重要工具,提供精确、准确、信息丰富的数据,以便进行全面分析。其自动化的机械臂和强大的成像和处理能力使它成为晶圆检查和计量应用的绝佳选择。
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