二手 KLA / TENCOR Puma 9150 #9378316 待售

KLA/TENCOR Puma 9150是一种晶圆测试和计量设备，其独特设计旨在增强半导体行业的过程控制。该系统为高级晶圆级计量设定了标准，提供快速、精确、准确的测量和统计控制，以确保设备和工艺性能保持在所需的参数之内。该单元采用先进的光学机器和图像处理技术，实现了多晶圆级测试参数配置和分析。它可以快速准确地捕捉测试对象的图像,并且可以在板载硬盘上存储高达4 GB的图像数据。该工具能够检查和测量尺寸从5 μ m到100 μ m的特征。KLA Puma 9150提供集成的运动控制,具有快速切换的多轴级,可以在测试站点之间快速移动。该资产具有强大的控制模型体系结构,便于进行高速、高分辨率的成像和测试,从而确保在每个测试晶片上评估所有相关的设备性能参数。此外,高级设备软件还可帮助实现图像采集、系统维护、数据处理和结果演示的自动化。该单元的视觉机融合了LED背光灯以实现均匀照明和集成聚焦机制，有助于保持图像清晰度和稳定性。高分辨率CCD照相机和成像工具可提供最佳图像质量,资产可捕获分辨率高达8K的彩色和单色图像。TENCOR Puma 9150还具有3D成像功能,使操作员能够根据设备制造设计目标测量实际测试性能。此外,该模型还具有强大的数据分析软件,可提供全面、可自定义的设备性能视图。软件还包括有助于用户监控和分析生产趋势的统计过程控制分析工具。设备也支持多种数据类型,并且可以配置为生成多种类型的报告,包括针对特定任务的自定义报告,从而可以快速分析数据。总体而言,Puma 9150晶圆测试和计量系统提供了确保半导体制造过程中精度、速度和准确性所需的性能和灵活性。它的先进技术使该设备非常适合在生产设施中使用,其全面的数据分析功能非常适合工艺工程师和研发专业人员。